福彩3d追号计算器最新爆料|福彩3d跨度走势图新浪网
產品中心 > 晶體硅電池設備 > 管式等離子體氧化鋁淀積爐

管式等離子體氧化鋁淀積爐

設備名稱 Equipment Name

管式等離子體氧化鋁淀積爐  Horizontal PECVD (AlOx ) 

設備型號 Equipment Model

PD-450M

設備用途 Equipment Application

本設備主要用于在硅片背面通過N2O和TMA淀積氧化鋁鈍化介質膜,提高電壓和電流,再在氧化鋁膜表面淀積氮化硅保護膜。
Deposit AlOx passivition dielectric film on the rear side of solar cells x through N2O and TMA gas to increase voltage and current of the solar cell and then deposit SixNy protective film on the surface of the AlOx film. 


工藝流程 Process Flow

石墨舟及硅片準備——管內充氮氣——進舟——抽真空、壓力測試——淀積氧化鋁復合膜——抽真空、壓力測試——清管路、充氮氣——退舟
graphite boat & wafers ready→Nitrogen inlet→graphite boat load in→vacuum,pressure test → deposit AlO film→vacuum, pressure test→ tube cleaning and Nitrogen inlet→graphite boat unload.


技術特點  Features

1. 氧化鋁/氮化硅?合?功能。
AlOx / SixNy two-in-one function. 

2. MES控制功能。
MES control.

3. 中央計算機集中控制。
Central computer control.

4. 雙爐門結構設計。
Double furnace door.

5. 雙水冷凝冷卻密封技術。
Double cooling water flanges sealing technology.

6. 懸浮承載舟技術。
Graphite boat contact-free with quartz tube.

7. 快速鍍膜技術。
Fast coating technology.

8. 兼容氮氧化硅PERC技術。
Compatible with SiOxNy PERC technology. 

9. 均勻性改善系統。
Uniformity improvement system.


設備參數  Parameters



上一個: 中轉機械手
下一個: HIT制絨清洗設備
福彩3d追号计算器最新爆料 新时时彩 led体育比分管理软件 快捷比分直播 北单比分直播体育有料 新疆35选7 亿客隆彩票官网 快速时时彩 足球竞彩比分直播500 新浪体育微博 青海十一选五 nba比分7m 江西快三 11选5 7m体球网足球比分直播 足球指数北京单场 体球网足球即时比分